標準型基礎(chǔ)測試探針臺

TLRB系列標準型基礎(chǔ)測試探針臺是我司根據(jù)高校科研及產(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而開發(fā)設(shè)計的一款高性價比探針臺系統(tǒng)，其功能齊全，滿足常規(guī)IV電學測試需要，廣泛應(yīng)用于芯片、半導體材料/器件等光電相關(guān)領(lǐng)域。

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產(chǎn)品介紹

探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的用途。電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等。

TLRB系列標準型基礎(chǔ)測試探針臺是我司根據(jù)高校科研及產(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而開發(fā)設(shè)計的一款高性價比探針臺系統(tǒng)，其功能齊全，滿足常規(guī)IV電學測試需要，廣泛應(yīng)用于芯片、半導體材料/器件等光電相關(guān)領(lǐng)域。

技術(shù)優(yōu)勢：

● 結(jié)構(gòu)緊湊，功能實用，高性價比;
● 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試;
● 滿足1μm以上電極/PAD使用;
● 兼容高倍率電子顯微鏡/體視顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)及微調(diào)升降;

● 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;
● 精密絲桿/燕尾傳動機構(gòu)，線性移動，無回程差設(shè)計;
● 模塊化設(shè)計，可據(jù)應(yīng)用需要增減相應(yīng)模塊，性價比高。

細節(jié)展示：

標準型基礎(chǔ)測試探針臺.jpg

詳細模塊配置及參數(shù)說明：

名稱	型號	單位	數(shù)量	參數(shù)
探針臺臺體	PBL	套	1	底部蜂窩隔振面包板，臺面尺寸450mm600mm50mm，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；四維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程50mm，Z軸行程60mm，整體分辨率10μm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊；兩邊龍門架結(jié)構(gòu)，尺寸：300mm150mm190mm。
探針座	TPLS-UP	套	2	三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度10μm（可選配0.5μm，1μm，3μm）；測量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A；行程：XYZ行程分別13mm；固定方式：可調(diào)磁吸吸附，真空吸附，螺絲固定；配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。
顯微成像模塊	ST51	套	1	體式顯微鏡；放大倍率：40.2~270倍；圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；目鏡：采用高眼點超廣角目鏡，視場Φ23mm；外置高亮無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形LED光源；配置顯微鏡萬向支架；高清顯示器及顯示器萬向支架；可搭配XY二維調(diào)節(jié)裝置，行程25×25mm，分辨率3μm；可據(jù)需求選配如電子顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。
真空吸附卡盤	PVS-04	套	1	臺面尺寸：4/6/8/12英寸可選，不銹鋼材質(zhì)； 4英寸3個吸附孔，6/8英寸4個吸附孔，12英寸5個吸附孔；標配進口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩(wěn)定運行；搭配聚四氟材質(zhì)旋轉(zhuǎn)可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉(zhuǎn)；背電極設(shè)計，可引出背電極；吸附孔圓槽設(shè)計，增強吸附能力；單獨吸附孔道，獨立真空吸附開關(guān)；真空吸附套裝附件。
探針	PTR-03	盒	1	鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。