TLRH系列精密型基礎測試探針臺(金相款)是我司根據高校科研及產業研發需要,特定設計的一款高精密高穩定探針臺,其較高的位移調節精度及優異的漏電精度控制,已成為包括場效應管在內的多端器件IV測試的理想之選。相比常規款TLRH精密基礎測試探針臺,TLRH精密型基礎測試探針臺(金相款)將體式顯微鏡升級為更好成像效果的金相顯微鏡,以方便更小尺寸樣品的觀察與扎針。
探針臺又稱探針測試臺,主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析,抽查測試等用途。
TLRH系列精密型基礎測試探針臺(金相款)是我司根據高校科研及產業研發需要,而特定設計的一款高精密高穩定探針臺,其較高的位移調節精度及優異的漏電精度控制,已成為包括場效應管在內的多端器件IV測試的理想之選。相比常規款TLRH精密基礎測試探針臺,TLRH精密型基礎測試探針臺(金相款)將體式顯微鏡升級為成像效果更好的金相顯微鏡,以方便更小尺寸樣品觀察與扎針。
● 模塊化設計,可以搭配不同構件完成不同測試;
● 最大可用于12英寸以內樣品測試;
● 探針臺整體位移精度高達3μm,樣品臺精密四維調節;
● 兼容多種光學顯微鏡,可外引光路實現光電mapping測試;
● 滿足1μm以上電極/PAD使用;
● 漏電精度可達10pA/100fA(屏蔽箱內);
● 探針座采用進口交叉滾珠導軌,線性移動,無回程差設計;
● 加寬探針放置架,可放置6個DC探針座/4個RF探針座;
● 配顯微鏡二維精密調節功能,且可選配多種行程及驅動方式。

光學隔振平臺(臺面>600mm*600mm)、一臺計算機(標準VGA接口和USB接口)、吉時利2400數字源表(含軟件)等。
測試時連接探針臺和數字源表,探針接被測物體,通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面,待連接導通后打開源表軟件,選好參數即可出該觸點的I-V性能曲線。
半導體材料測試 功率器件測試 MEMS測試 PCB測試 液晶面板測試 測量表面電阻率 精密儀器生產檢測 航空航天實驗
譜量光電可根據客戶實際應用需求,定制配套探針臺系統,以達更好的測試效果及更高的性價比,具體信息可聯系詳詢。