精密氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)

譜量光電研發(fā)制造的精密氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)，能夠滿足精密負(fù)載對(duì)振動(dòng)隔離需求。上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁SUS430不銹鋼，臺(tái)面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu)，內(nèi)核密度大幅度提高，具有優(yōu)秀的硬重比和剛性，同時(shí)保證了較低的固有頻率，具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺(tái)面采用精密磨削工藝，平面度可達(dá)0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工藝清除毛邊，達(dá)到無反射、啞光效果，面板具有M6陣列螺孔，易于固定光學(xué)元件。

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產(chǎn)品介紹

譜量光電研發(fā)制造的精密氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)，能夠滿足精密負(fù)載對(duì)振動(dòng)隔離需求。上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁SUS430不銹鋼，臺(tái)面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu)，內(nèi)核密度大幅度提高，具有優(yōu)秀的硬重比和剛性，同時(shí)保證了較低的固有頻率，具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺(tái)面采用精密磨削工藝，平面度可達(dá)≤0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工藝清除毛邊，達(dá)到無反射、啞光效果，面板具有M6陣列螺孔，易于固定光學(xué)元件。

氣浮支架采用整體焊接工藝（四支撐或六支撐結(jié)構(gòu)），半膜片式空氣彈簧，采用進(jìn)口三水平調(diào)節(jié)閥技術(shù)，反應(yīng)靈敏，響應(yīng)迅速，在超載偏重的實(shí)驗(yàn)條件下，能瞬間恢復(fù)初始的平衡狀態(tài)。支撐腿內(nèi)部為二級(jí)氣室結(jié)構(gòu)，氣室間帶有阻尼孔，氣動(dòng)元件全部采用德國(guó)FESTO產(chǎn)品，標(biāo)配優(yōu)質(zhì)大功率超靜音壓縮機(jī)，整體結(jié)構(gòu)保證平臺(tái)有較高的穩(wěn)定性。

技術(shù)參數(shù)：

參數(shù)名稱	參數(shù)指標(biāo)
平面度	≤0.05mm/m2
表面粗糙度	<0.6μm
固有頻率	X方向: 1.2~2Hz, Y方向: 1.2~2Hz
振幅	<2μm
螺孔間距	25mm
孔距公差	±0.05mm
螺孔規(guī)格	M6（公制）
螺孔公差	±0.03mm
載荷能力	300Kg/m2
臺(tái)面厚度	100mm/150mm/200mm/250mm/300mm
臺(tái)面重量	120Kg/m2@100mm厚, 140Kg/m2@200mm厚, 165Kg/m2@300mm厚 (≈)

產(chǎn)品選型表：

產(chǎn)品型號(hào)	尺寸 (㎜)	載荷 (kg)	支撐腿數(shù)量	支架寬度 (㎜)
PLGZQ-06	600x600x800	800	4	120x120
PLGZQ-075	750x750x800	800	4	120x120
PLGZQ-0906	900x600x800	800	4	120x120
PLGZQ-1007	1000x700x800	800	4	120x120
PLGZQ-1008	1000x800x800	800	4	120x120
PLGZQ-1208	1200x800x800	800	4	120x120
PLGZQ-1509	1500x900x800	1400	4	200x200
PLGZQ-1510	1500x1000x800	1400	4	200x200
PLGZQ-1609	1600x900x800	1400	4	200x200
PLGZQ-1812	1800x1200x800	1400	4	200x200
PLGZQ-2010	2000x1000x800	1400	4	200x200
PLGZQ-2012	2000x1200x800	1400	4	200x200
PLGZQ-2015	2000x1500x800	1400	4	200x200
PLGZQ-2412	2400x1200x800	1400	4	200x200
PLGZQ-2415	2400x1500x800	2000	4	200x200
PLGZQ-3010	3000x1000x800	2000	6	200x200
PLGZQ-3012	3000x1200x800	2000	6	200x200
PLGZQ-3015	3000x1500x800	2000	6	200x200
PLGZQ-3512	3500x1200x800	2000	6	200x200
PLGZQ-3515	3500x1500x800	2000	6	200x200
PLGZQ-4015	4000x1500x800	2500	6	200x200
PLGZQ-4215	4200x1500x800	2500	8	200x200
PLGZQ-4815	4800x1500x800	2500	8	200x200
PLGZQ-5415	5400x1500x800	2500	12	200x200
PLGZQ-6015	6000x1500x800	2500	12	200x200

定制選項(xiàng)：

定制方式	示意圖	定制說明
無磁定制		支持（臺(tái)面）無磁和（臺(tái)面支架）整體全無磁兩種形式左圖為中電某所PLGZQ-1815全無磁精密型氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)
非標(biāo)準(zhǔn)尺寸定制		各種非標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)尺寸均可定制左圖為2.7x1.5米阻尼隔振光學(xué)平臺(tái)
異型結(jié)構(gòu)定制		非標(biāo)準(zhǔn)矩形臺(tái)面等異型結(jié)構(gòu)來圖定制
各類刻度線定位標(biāo)識(shí)		刻度線和定位標(biāo)識(shí)定制